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科威勒高精氣體質量流量計 氣體傳感器
原理&結構
FGM220 質量流量控制器（Mass Flow Controller）是一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控 制器產品。該產品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、 響應速度快、穩 定性好等特點。 操作 使用方便，可任意位置安裝，廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制 氣配氣等行業 。
科威勒高精氣體質量流量計 氣體傳感器
特點
分析和環保 半導體加工 燃燒控制器 真空技術 表面處理 食品和制藥 化工（石化）等過程控制
應用
溫度和壓力不敏感 *的零點穩定性 超快的響應速度 良好的重復性和再現性 多種信號輸出方式 配備高*比例電磁閥
技術參數
核心參數說明 | |
介質要求： | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
介質種類： | 空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳 |
氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等 | |
量程： | 0...50/100/500/1000 SCCM(每分鐘標準毫升) |
0...5/20 SLM(每分鐘標準升) | |
精度： | 1.0% F.S |
1.5% F.S. | |
分辨率： | *低 0.01SCCM(每分鐘標準毫升) |
響應時間： | ≤1S |
環境條件 | |
介質溫度： | 0...50℃ |
工作溫度： | -20...70℃ |
工作濕度： | 10%...90%RH（無結冰，無凝露） |
工作壓力： | 0...10bar |
儲存溫度： | -20...85℃ |
電氣參數 | |
供電電壓： | DC24V |
功耗： | 2.4W |
啟動時間： | <1S |
預熱時間： | <10mS |
信號類型 | |
模擬信號（電流、電壓） | |
接口類型： | D-SUB 9 針 |
電壓信號： | 0...5V & 1...5V |
電流信號： | 4...20mA |
數字信號（RS485） | |
接口類型： | RJ45和D-SUB 9 針 |
通信速率： | 4800,9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600, |
115200,28000,230400,256000,460800,500000 （可 | |
通過指令或者上位機修改） | |
協議： | RS485（默認 Modbus-RTU協議） |
設備地址： | 1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改) |
*大節點數： | 250 |
機械參數 | |
接頭類型： | 卡套：8mm、12mm |
快插：6mm，8mm | |
協議定制 | |
主體材質： | 接液底座：陽極氧化鋁合金 |
不銹鋼1.4301(不銹鋼304) | |
不銹鋼1.4435(不銹鋼316L) | |
外殼：碳鋼 | |
密封材質： | FKM 氟橡膠 |
重量： | 鋁：≈0.75kg |
不銹鋼：≈1.5kg |
尺寸圖
選型表
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